產(chǎn)品信息
- 半導(dǎo)體制造工廠使用的搬送系統(tǒng)
- OHT (空中走行式無人搬送車)
- OHS (空中走行式穿梭車)
- AGV (無人搬送車)
- 存儲(chǔ)庫
- 搬送控制/管理系統(tǒng)(MCS)
- 無塵自動(dòng)化
- 產(chǎn)品信息
- 半導(dǎo)體制造工廠使用的搬送系統(tǒng)
- OHT (空中單軌無人駕駛搬運(yùn)系統(tǒng))
半導(dǎo)體制造工廠使用的搬送系統(tǒng)
OHT (空中走行式無人搬送車)
一種自動(dòng)化搬送裝置，能夠在空中軌道上行駛，并能夠通過皮帶傳動(dòng)起重機(jī)構(gòu)“直接”進(jìn)入保管設(shè)備或工藝設(shè)備的裝卸口。
“OHT”是Overhead Hoist Transport的簡稱。這一系統(tǒng)被廣泛認(rèn)定為300mm FAB及下一代FAB的主力搬送系統(tǒng)，目前不僅應(yīng)用于工序區(qū)內(nèi)部運(yùn)輸，也應(yīng)用于工序區(qū)間或工廠間運(yùn)輸。
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