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半導體制造工廠使用的搬送系統
存儲庫
無塵室內的臨時存儲庫，可縮短工藝設備流程結束到下一工藝設備流程開始之間的時間差。我們可提供一系列的存儲解決方案以滿足您的需要，例如用于存儲載體（FOUP或RSP）的存儲庫、工藝設備流程開始前的暫時存儲站臺(TS300)
Tool Station (TS300)
工藝設備裝卸口前的暫時存儲站臺。
“TS300”是Tool Station 300的簡稱。其可在新生產線或現有生產線上安裝（只要設備符合E15.1 SEMI標準）。
通過該裝置，載體（FOUP）可在最接近工藝設備的位置得到暫時存儲。此外，通過在各個工藝設備上安裝獨立的傳輸單元可減少流程結束后到下一次流程開始之間更換FOUP的時間，從而提高檢查設備（尤其是檢查時間較短的設備）的操作效率。