無塵自動化系統
在更加清潔的環境中，
可以大幅度提高半導體
技術的精確度與可靠
可以大幅度提高半導體
技術的精確度與可靠
半導體在不足半個世紀的時間里獲得了飛躍發展,已經成為現代社會不可缺少的產品.半導體產品生產技術的日新月異,需要高度管理下的無塵生產車間.在無塵車間內部.不僅搬送設備要避免出現塵埃,還要在高度自動化生產過程中擁有絕對的可靠性.村田公司多年來積累了豐富的自動化生產,無人化經驗,從很早就開始提供應用于無塵車間的各種搬送系統和保管設備.村田公司期待能夠通過提供無塵搬送系統,提高半導體產品的生產效率和可靠性,為今后多媒體時代的發展做出應有的貢獻.
- 半導體制造工廠使用的搬送系統
- OHT（空中單軌無人駕駛搬運系統）
OHS（線性電動機驅動方式空中搬運系統）
AGV（無人小車車）
存儲庫 - MCS（搬送控制、管理系統）